ساخت و بهینه سازی یک حسگر گازی دارای پایه اکسید قلع

در پژوهش حاضر لایه های نازک مختلفی از اکسید قلع و اکسید قلع آلاییده با مقادیر متفاوتی از ناخالصی zn و f به روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیرلایه های شیشه ای میکروسکوپ اسپری شده و حساسیت لایه ها به گاز پرکاربرد co2 در شرایط دینامیکی مورد ارزیابی قرار گرفته است. همچنین اثر پارامترهایی از قبیل فشار گاز حامل، ضخامت لایه، دمای زیرلایه و میزان ناخالصی به کار رفته از zn و f بر حساسیت لایه های نازک تهیه شده مورد مطالعه قرار گرفته و مقدار هر یک از آنها نسبت به پاسخ حسگری گاز co2 بهینه شده اند. همچنین میزان عبور اپتیکی، مقاومت الکتریکی و مقاومت سطحی، ضریب هال و تراکم حامل ها در لایه های نازک تهیه شده اندازه گیری و گزارش شده است. با توجه به تاثیر زیاد مورفولوژی سطحی حسگر بر آشکارسازی گاز co2، در این تحقیق با استفاده ازاندازه گیری های دستگاه afm اثر میزان زبری سطح و سطح مقطع موثر در معرض گاز لایه ها بر پاسخ حسگری بررسی و گزارش شده است. بر اساس نتایج بدست آمده بیشترین میزان حساسیت لایه های تهیه شده 9/24 درصد در دمای کار ?c200 می باشد که کاملا قابل قبول و قابل مقایسه با سایر گزارشات علمی معتبر می باشد